基板玻璃搬運機器人末端CAMOZZI執行器 
平板顯示行業是我國的戰略性新興產業，我國已經成為全*二大生產基地。基板玻璃是平板顯示行業的重要基底材料，其質量直接決定著液晶顯示器的優劣。在液晶屏的生產過程中，基板玻璃要經過模組、刻蝕、切割、罐液、貼片、清洗等多個工藝過程，需要在各個生產線上循環搬運，因此如何提高搬運機器人的搬運效率和搬運穩定性成為關注的重點。

基板玻璃搬運機器人末端CAMOZZI執行器            對基板玻璃搬運機器人的末端CAMOZZI執行器進行了運動學研究和優化設計，同時設計了機器人的軌跡優化方案，并進行仿真驗證，zui終提高了搬運機器人的效率和穩定性，并將設計和研究成果應用于實際項目中，取得良好效果。首先，介紹了國內和國外基板玻璃搬運機器人的發展和研究現狀，以及機器人軌跡規劃的研究現狀。利用MEMS技術設計和制作了一種微量取樣CAMOZZI執行器。CAMOZZI執行器由微針、微通道、反應室、電極以及永磁微陣列等各部分組成,通過外部磁場可以實現雙向線性地驅動。利用SU-8光刻膠為主要材料,采用多級曝光和電鑄金屬實現3D結構的工藝技術,研制出了微針CAMOZZI執行器的雛形器件。針尖的尺寸為500μm×60μm×60μm,針孔截面為20μm×20μm。根據基板玻璃大尺寸、厚度薄、易破碎等特性，提出了末端CAMOZZI執行器優化設計的目標，并將機器人zui短運行時間和zui小抖動作為軌跡優化指標。其次，對機器人末端CAMOZZI執行器的失效方式進行探討，通過對機器人末端CAMOZZI執行器的工作流程的分析介紹，對機器人末端CAMOZZI執行器進行設計分析。完成機器人末端CAMOZZI執行器的設計后，基于Solidworks Simulation對基板玻璃進行受力分析，通過分析基板玻璃形變，完成機器人末端CAMOZZI執行器設計優化。再次，建立機器人的連桿參數，用D-H法建立連桿坐標系，建立機器人正運動學、反向運動學模型，分析了機器人的奇異位形，避免機器人運動過程中出現運動死點。zui后，基于多目標遺傳算法，設計了以時間和抖動為*目標的優化方案，采用B樣條曲線作為機器人構造軌跡的方式，建立其軌跡優化模型，對機器人進行軌跡規劃；經過遺傳算法的優化，使得基板玻璃搬運機器人的時間和抖動綜合達到*，完成了研究目標。