WILKERSON威爾克森過(guò)濾器流量的預(yù)測(cè)
在半導(dǎo)體制成工藝中，不論早期的250nm制成技術(shù)，還是現(xiàn)在主流的28nm制成技術(shù)，濕法清洗技術(shù)都扮演著極為重要的角色；而清洗機(jī)化學(xué)品的流量和濃度控制又是濕法清洗技術(shù)的重中之重。威爾克森過(guò)濾器的更換控制在對(duì)化學(xué)品的流量和濃度控制中是或*。

WILKERSON威爾克森過(guò)濾器流量的預(yù)測(cè)
本文的研究涉及半導(dǎo)體后道工藝中晶圓清洗機(jī)化學(xué)品槽過(guò)濾器生命周期內(nèi)的流量預(yù)測(cè)和基于預(yù)測(cè)優(yōu)化過(guò)濾器更換的應(yīng)用，主要解決過(guò)早過(guò)濾器更換中的成本浪費(fèi)和杜絕該設(shè)備的過(guò)濾器流量EP報(bào)警時(shí)對(duì)正生產(chǎn)產(chǎn)品成品率的影響，zui終完成降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本的目的。本文的主要研究工作概述如下：（1）列出了威爾克森過(guò)濾器流量預(yù)測(cè)應(yīng)用的背景和它的應(yīng)用價(jià)值，介紹了國(guó)內(nèi)外各大半導(dǎo)體制造企業(yè)在過(guò)濾器更換控制中的方法和措施；簡(jiǎn)單地分析了非線(xiàn)性系統(tǒng)的各類(lèi)典型神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)預(yù)測(cè)模型的結(jié)構(gòu)、優(yōu)缺點(diǎn)以及前人們的應(yīng)用成果。（2）研究了威爾克森過(guò)濾器的工作原理和過(guò)濾器更換對(duì)流量的變化，提出了威爾克森過(guò)濾器流量的預(yù)測(cè)模型確立的技術(shù)路線(xiàn)和技術(shù)措施。（3）討論了基于RBF神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)威爾克森過(guò)濾器流量的預(yù)測(cè)模型中，輸入量與輸出量的自相關(guān)系數(shù)，梯度下降算法以及不同神經(jīng)元個(gè)數(shù)時(shí)的預(yù)測(cè)結(jié)果。通過(guò)對(duì)其預(yù)測(cè)模型的理論分析和仿真研究，為本論文涉及的預(yù)測(cè)建模提供了理論依據(jù)。（4）為了提高預(yù)測(cè)模型的辨識(shí)精度以及減少誤差，文中針對(duì)RBF網(wǎng)絡(luò)預(yù)測(cè)模型的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了一定改進(jìn)，同時(shí)通過(guò)帶有有效準(zhǔn)則的模糊聚類(lèi)算法研究和應(yīng)用，確立了*聚類(lèi)數(shù)，即神經(jīng)元的個(gè)數(shù)。通過(guò)仿真計(jì)算，獲得了該模型的各類(lèi)參數(shù)；zui后利用仿真實(shí)驗(yàn)，表明該模型的預(yù)測(cè)效果十分良好。 （5）以威爾克森實(shí)時(shí)的輸出流量作為被控對(duì)象，通過(guò)將PC和在PC中Matlab軟件作為軟硬件預(yù)測(cè)實(shí)踐平臺(tái)，并將改進(jìn)的RBF網(wǎng)絡(luò)預(yù)測(cè)模型以及模糊聚類(lèi)算法應(yīng)用到該實(shí)驗(yàn)平臺(tái)中去。

WILKERSON威爾克森過(guò)濾器流量的預(yù)測(cè)
實(shí)驗(yàn)實(shí)踐結(jié)果表明，文中所提出的改進(jìn)型過(guò)濾器的預(yù)測(cè)模型，能夠有效地精準(zhǔn)地預(yù)測(cè)下一時(shí)刻的流量變化，優(yōu)化了過(guò)濾器的更化，即節(jié)約成本。近年來(lái)，大型半導(dǎo)體制造企業(yè)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)日趨激烈，暴利程度也被不斷侵蝕，為了提高企業(yè)自身的競(jìng)爭(zhēng)力，其不得不致力于提升產(chǎn)品成品率和降低產(chǎn)品生產(chǎn)成本的運(yùn)動(dòng)中。而該研究的應(yīng)用，能夠優(yōu)化威爾克森過(guò)濾器的更換，提高產(chǎn)品成品率，同時(shí)降低了清洗工藝的成本，具有良好的工程實(shí)踐應(yīng)用價(jià)值。