差分式電容位移E+E傳感器標定平臺
電容位移E+E傳感器作為一種傳統非接觸式E+E傳感器，具有結構簡單、響應時間短、分辨率高、適合在線和動態測量等優點，主要用于位移、角度、振動、加速度、壓力以及濃度等方面的測量，被廣泛用于地球科學、高科技電子、航空航天及工業應用領域。

差分式電容位移E+E傳感器標定平臺
高精度靜電加速度計或空間慣性E+E傳感器在衛星重力測量、空間科學基礎實驗如空間等效原理檢驗以及空間引力波探測中有著非常重要的應用意義，而高精度差分式電容位移E+E傳感器是空間靜電加速度計或慣性E+E傳感器的關鍵技術之一，其性能如分辨率指標等要求較高。電容位移E+E傳感器的靈敏度系數是測量電容位移E+E傳感器分辨率指標需要的，同時對于加速度計或慣性E+E傳感器閉環系統參數設計以及仿真至關重要，故如何對電容位移E+E傳感器進行靈敏度高精度的標定是必須解決的關鍵問題之一。差分式電容位移E+E傳感器靈敏度系數的標定，需要制作一對穩定的可變差分電容器。通過分析現有的車輪彎曲疲勞試驗機的失效檢測方法,并遵照相關試驗要求,完成了基于激光位移E+E傳感器的車輪彎曲疲勞試驗加載軸偏移量檢測系統的設計。該系統用于試驗中加載軸的偏移量的實時監測,進而達到車輪失效時試驗機自動卸載的目的。如果采用傳統的平行板電容器構成差分電容對，因為邊緣效應，其實際電容值會存在很大的非線性誤差，由此標定出的靈敏度系數誤差較大，與理論值相差可達到40%～50%，故為了降低標定平臺自身在電容位移E+E傳感器標定過程中的非線性影響以及減小標定誤差，需要采用一定的技術屏蔽邊緣效應的影響。目前國內和上常用的方法是在平行板電容的外圍添加等電位保護環，通過等電位來屏蔽邊緣效應。主要的研究目標是研制出一套高精度標定平臺，首先在理論上對等電位環如何屏蔽平行板電容器的邊緣效應進行了詳細分析；其次，根據理論分析完成了穩定標準差分電容對（采用等電位環技術）的設計、制作和測試；zui后，通過電容計驗證平臺設計是否與理論*，并結合本課題組研制的高精度差分式電容位移E+E傳感器，完成了其靈敏度的標定。

差分式電容位移E+E傳感器標定平臺
zui終得到的標定平臺靈敏度為11.96fF/5μm，相對不確定為2%，且實測值在理論范圍內，誤差滿足指標需求且與理論分析基本*，表明研制的高精度標定平臺基本滿足課題組電容位移E+E傳感器靈敏度標定的要求，該E+E傳感器結構簡單,精度可達到機械工程應用的要求,能測定旋轉過程中軸的形狀和位置,故具有在生產線上測定部件的潛力.